เครื่องกำเนิดไนโตรเจนแบบโมดูลาร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

เครื่องกำเนิดไนโตรเจนแบบโมดูลาร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ พัฒนาโดยโรงงานเทคโนโลยี GSE แยกตัวออกจากโครงสร้างการกรองเดี่ยวของอุปกรณ์การผลิตไนโตรเจนทั่วไป ใช้ตรรกะกระบวนการสองระดับคือ "การผลิตไนโตรเจนครั้งแรก จากนั้นจึงทำให้บริสุทธิ์และบริสุทธิ์อย่างล้ำลึก" โดยใช้อากาศอัดปกติของโรงงานเป็นแหล่งก๊าซ ผ่านหน่วยแยกหลัก การผลิตไนโตรเจนขั้นพื้นฐานจะเสร็จสิ้น จากนั้นด้วยสถาปัตยกรรมการทำให้บริสุทธิ์คอมโพสิตหลายระดับพิเศษ ออกซิเจนติดตาม ความชื้นที่ตกค้าง และอนุภาคที่มีขนาดเล็กมาก ซึ่งมีแนวโน้มสูงที่จะทำให้เกิดข้อบกพร่องในกระบวนการในชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ จะถูกกำจัดออกโดยเฉพาะ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าปัญหาในการผลิต เช่น การเกิดออกซิเดชันระหว่างการประมวลผลที่แม่นยำ รูเข็ม ข้อบกพร่องในการเคลือบ และการเชื่อมที่ไม่ดี จะถูกกำจัดที่แหล่งที่มาของการจ่ายก๊าซ

เครื่องจักรทั้งหมดได้รับการออกแบบตามมาตรฐานของห้องคลีนรูมอิเล็กทรอนิกส์ โดยมีการออกแบบโครงสร้างที่ปิดสนิทไร้ฝุ่น ตัวเครื่องไม่มีมุมตายของการสะสมฝุ่น และทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้ง่าย มันเข้ากันได้กับข้อกำหนดการควบคุมความสะอาดของโรงปฏิบัติงานปลอดฝุ่นของเซมิคอนดักเตอร์และโรงปฏิบัติงานการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำ และจะไม่ก่อให้เกิดมลพิษรองต่อสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีความแม่นยำสูง

นอกจากนี้ยังรองรับการควบคุมการไล่ระดับความบริสุทธิ์อย่างแม่นยำ ตามมาตรฐานการใช้ก๊าซที่แตกต่างกันของกระบวนการต่างๆ เช่น การบรรจุชิป การประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ การชุบด้วยไฟฟ้าด้วยแสง และการเชื่อมส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ ทำให้สามารถส่งออกก๊าซไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษได้อย่างเสถียร ตอบสนองความต้องการกระบวนการของกระบวนการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์ทั้งหมดได้อย่างเต็มที่

อุปกรณ์ทำงานในลักษณะวงปิดอัตโนมัติ โดยมีความบริสุทธิ์ในการผลิตก๊าซที่เสถียร พารามิเตอร์จุดน้ำค้างที่ควบคุมได้ และความสะอาดของแหล่งก๊าซที่สูงมาก ช่วยแก้ไขจุดยุ่งยากในอุตสาหกรรมของก๊าซไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูงบรรจุขวดแบบดั้งเดิมและการจัดหาไนโตรเจนเหลวได้อย่างสมบูรณ์ เช่น ความบริสุทธิ์ที่ผันผวน ต้นทุนการบริโภคสูง และการหยุดชะงักในการจัดหาก๊าซ สามารถให้การป้องกันก๊าซเฉื่อยได้มาตรฐาน และไม่มีมลพิษอย่างต่อเนื่องตลอด 24 ชั่วโมงสำหรับองค์กรการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์ ช่วยเพิ่มผลผลิตผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดอัตราของเสียของกระบวนการที่แม่นยำและต้นทุนการใช้ก๊าซในระยะยาว เป็นอุปกรณ์สนับสนุนหลักสำหรับการผลิตที่ได้มาตรฐานในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์ เซมิคอนดักเตอร์ และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

การขยายเนื้อหาหลายมิติ

1. การวิจัยและพัฒนาและมุมมองการผลิต: เพื่อตอบสนองต่อข้อกำหนดที่เข้มงวดด้านความบริสุทธิ์และความสะอาดของก๊าซในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ บริษัทของเราได้พัฒนาเครื่องกำเนิดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษโดยเฉพาะพร้อมโมดูลการทำให้บริสุทธิ์เฉพาะสำหรับภาคส่วนนี้

2. จากมุมมองของแหล่งก๊าซและกระบวนการ: อุปกรณ์ใช้อากาศอัดเป็นแหล่งก๊าซหลัก ขั้นแรกผลิตไนโตรเจนผ่านโมดูล PSA จากนั้นเชื่อมต่อกับระบบการทำให้บริสุทธิ์หลายขั้นตอนเพื่อกำจัดออกซิเจน น้ำ และสิ่งสกปรกปริมาณเล็กน้อย

3. มุมมองการใช้งาน: อุปกรณ์นี้มุ่งเป้าไปที่กลุ่มการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ระดับไฮเอนด์ และใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการต่างๆ เช่น การประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ การติดชิป บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ การเชื่อมส่วนประกอบที่มีความแม่นยำ และการเคลือบอิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัล

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์ที่สำคัญ

1. การทำให้บริสุทธิ์แบบลึกหลายขั้นตอนพร้อมการไล่ระดับความบริสุทธิ์ที่ควบคุมได้: เครื่องกำเนิดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์มีโมดูลการทำให้บริสุทธิ์แบบลึกโดยเฉพาะ ซึ่งใช้กระบวนการทำให้บริสุทธิ์แบบคอมโพสิต ทำให้สามารถเพิ่มความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนได้อย่างเสถียรเป็น 99.9999% พร้อมการควบคุมระดับออกซิเจนปริมาณน้อยและพารามิเตอร์จุดน้ำค้างอย่างเข้มงวด

2. การออกแบบเฉพาะสำหรับห้องคลีนรูม: หน่วยทั้งหมดใช้การออกแบบโครงสร้างที่ปราศจากฝุ่นพร้อมการปิดผนึกที่ไร้รอยต่อและพื้นผิวที่ทำความสะอาดได้ง่าย กำจัดโซนตายของการสะสมฝุ่น ปฏิบัติตามมาตรฐานการจัดการห้องคลีนรูมระดับอิเล็กทรอนิกส์อย่างเต็มที่

ข้อกำหนดทางเทคนิค